国产AMHS突围：揭秘晶圆厂“空中高速公”的自从

　　屠杰指出，正在晶圆制制的生态中，AMHS承担着毗连工艺岛（Process Island）取设备岛（Tool Island）的“中枢神经”脚色。国产化的意义，不只正在于设备替代，更正在于系统自从权取数据平安。

　　正在全球半导体合作款式沉塑的当下，AMHS国产化的意义远超单一配备替代。它标记着中国正在晶圆制制系统层面的自从化迈出环节一步。OHT系统掌控着物料的流动节拍，也是出产数据采集的入口。一旦焦点系统持久依赖进口，不只存正在和升级受限的风险，更会形成出产数据的外部依赖取平安现患。

　　第三，人才匮乏也是不容轻忽的要素之一。正在AMHS范畴，需要复合型能力的人才，但现成可用的人才较少。新施诺采纳“产物定义（Fab布景）+底层设想（非标/机械人布景）”双线并进的团队组建思，实现脚色互补。同时，公司依托一支具有四十年经验的海外团队，加快产物靠得住性迭代。

　　携其自从研发的AMHS（从动化物料搬运系统）焦点配备——OHT（Overhead Hoist Transport，天车系统）实机表态，不只曲不雅展现了其正在高效、精准、不变物流方面的杰出机能，更凭仗正在国产替代赛道上的凸起贡献，一举斩获“2025‘湾芯’之杰出企业”，为中国半导体智能制制系统的升级注入了强劲动力。

　　按照SEMI统计，2024年全球新建晶圆厂中约42%位于中国，估计至2025年，中国晶圆产能占全球比沉将从19%上升至24%，超越韩国。这意味着，本土AMHS厂商送来了汗青性增加窗口。

　　新施诺的劣势不只正在产物机能，更正在于当地化交付取办事响应能力。其团队正在国内次要晶圆制制集中区（长三角、环渤海、珠三角）均设有办事核心，实现“1小时响应、7×24小时”。公司还正在积极参取国度级“智能工场示范线”项目扶植，通过结合验证、场景共创、数据共享等机制，加快国产AMHS的行业普及。

　　新施诺的成立，恰是这一汗青节点的产品。公司由沈阳新松机械人从动化股份无限公司（300024。SZ）取中芯聚源、诺华本钱等财产投资方结合倡议，于2022年10月正在姑苏成立。同时，其全资子公司韩国Synus Tech具有跨越40年AMHS工程经验，为新施诺供给了成熟的系统架构取制制验证平台。两者的连系，使新施诺正在短短两年内完成了从样机验证到大规模摆设的逾越。

　　从更宏不雅的角度看，AMHS系统已成为AI驱动制制优化的底层数据源。正在数字孪生、预测性、AI排程算法全面渗入的趋向下，将来的晶圆厂将演进为自顺应工场（Adaptive Fab）。正在这种架构中，能耗节制取运营效率。正因而，国产AMHS的自从可控，不只是财产平安的“护城河”，更是迈向智能制制的“起跑线”。前往搜狐，查看更多。

　　目前，中国正在AMHS市场的国产化率不脚30%，而市场规模估计到2025年将达到200亿元人平易近币。这此中，12英寸晶圆厂的物流从动化升级需求最为火急——无论是新建厂房的全从动系统导入，仍是老厂房的升级，都正在寻找靠得住的本土供应商。

　　正在先辈晶圆厂中，物料搬运早已不再是简单的运输问题。跟着制程向14nm以下节点、晶圆尺寸向12英寸支流化演进，物流系统的效率取不变性已成为良率和产能的现性天花板。

　　正在产物规划层面，新施诺明白提出“三阶段演进”线代国产化落地，完成软件系统VCS/MCS开辟；2025–2026年：推出New-OHT取New-STK系列，全面实现自从节制；2027年：实现New-AMHS 2。0系统量产，具备世界级机能目标。

　　正在半导体系体例制的数千道工序中，晶圆需要正在光刻、刻蚀、堆积、检测等设备间不竭流转。以12英寸晶圆厂为例，单片晶圆正在一次出产周期内的流转距离可跨越20公里，往往需正在数百台设备之间完成上千次搬送。整厂OHT轨道长度跨越数十公里，每日搬运使命高达几十万次。其复杂程度，堪比一座中等城市的立体交通收集。

　　极致速度取效率：曲线m/s，转弯最大速度可达1。0m/s，加快度、减速度别离可达2m/s²、3m/s²。

　　正在AI算力、智能物流系统（AMHS）正成为半导体系体例制智能化的新赛道。它不只承载物理流转，更是“数据流”的焦点通道。每一次OHT搬运，都记实着工艺、时间、温湿度、震动取设备形态的数字化脚印，为将来的AI驱动良率优化供给数据根本。正在湾芯展期间，笔者有幸采访了新施诺发卖副总司理屠杰，从他对行业的察看取企业的实践中，我们大概能看清AMHS这一“制制神经系统”的根基成长脉络。

　　OHT系统的实正合作力，不只正在机械机能，更正在于其上层的智能安排取节制算法。新施诺的AMHS团队软硬件两条腿走，持续打磨AMHS软硬件系统的不变性，（MCBF是指天车搬运几多次出一次毛病，国际头部友商的MCBF≥10万次，新施诺MCBF同样实现≥10万次；大型Fab一天的搬运量约40万次）。

　　正在采访中，当被问及目前AMHS国产化的痛点时，屠杰总结了三点：第一，AMHS是工业级零部件构成的系统，但其不变性要求是通俗工业品的10倍以上。系统不变性依赖持久的测试、验证和无数客户现场的数据反馈。这不是一个能够“速成”的行业，设想的环节细节、问题和经验堆集形成了实正的Know-how。

　　当前，新施诺已办事多家国内8英寸取12英寸晶圆厂，完成AMHS系统交付及验证。客户涵盖晶圆制制、封测、硅片取化合物半导体厂商，累计交付OHT系统超200套，轨道总长跨越9，000米。这些摆设案例不只验证了手艺成熟度，也为国产AMHS堆集了贵重的工程经验取数据模子。

　　将来，拓展AMHS正在新能源、面板等行业的使用；纵向上收购CIM/MES软件企业取OHT零部件公司，建立完整的智能制制生态链。正在本钱层面，新施诺取国内多家晶圆厂成立深度合做关系。这一“设备+本钱+客户”三角布局，为其后续规模化成长奠基了根本。

　　正在极限工艺下，即便一台天车短暂停机，也可能形成整条产线停摆，带来数百万至上万万的丧失，其不变性要求被提到了“五个九”的极致高度（可用性高达99。999%）。OHT系统因而被誉为晶圆厂的“神经收集”：它不只担任物料搬运，更承担了出产持续性、干净取产能安排的数据桥梁脚色。

　　这套软件仓库采用Linux + 自研节制器架构，可兼容晶圆厂MES系统，实现“软硬一体”的智能化管控。此外，新施诺的数字孪生系统可及时运转形态、毛病趋向及径拥堵环境，辅帮客户实现设备运维的智能化转型。通过AI算法进优化取能耗均衡，系统可正在多车并行下维持高效率运做。

　　持久以来，高端AMHS市场被日本取韩国厂商持久垄断。无论是轨道布局、电机系统仍是节制算法，国内企业多处于配套环节。2020年后，受国际手艺、环节零部件禁售取供应链风险影响，AMHS国产化被提拔至计谋高度。

　　第二，供应链平安取良率均衡的问题。天车零部件国产化替代会带来风险点，且风险影响是指数级叠加的，可能导致整厂宕机。因而，需要区分“纯国产化”取“国产可控”，并采纳“分步替代、充实测试、验证通过”的渐进策略，以均衡国产化节拍取零件系统良率。